UHV-system som används för sensorer
UHV-system som används för att "baka ur" (gasa ur) sensorer för infraröda kameror i sin kapsel.
En serie mindre individuella kammare är monterade mot en större central kammare. Varje kammare har sitt eget värmeelement och regulator.
Alla temperaturer övervakas av dubbla sensorer för redundans och för att minimera risken att skada objekten.
UHV-kammaren pumpas bl.a. av en jon-pump för att nå tillräckligt lågt tryck.
UHV-kammare kontruerad för forskningsarbete i laboratorie.
Systemet användes för att utveckla och verifiera en metod för antireflexbehandling av laserdioder.
Det önskvärda sluttrycket uppnåddes med hjälp av en kombination av en grovvakuumpump, turbopump och kryopump, vilket ger ett vakuum på minst 10E-10 mbar.
Testobjekten laddas via en gateventil på sidan om kammaren.
Avancerade system baserade på UHV-kammare.
Ett mycket avancerat och tekniskt komplext system baserat på en UHV-kammare.
Systemet används för att ytbehandla halvledarkomponenter med hjälp av en elektronstrålekanon samtidigt som den deponerade tjockleken mäts.
Det önskvärda sluttrycket som krävs uppnås med hjälp av en kombination av en grovvakuumpump, turbopump och kryopump, vilket ger ett vakuum på minst 10E-10 mbar.
En högmoments servomotor används för att positionera en intern hållare via ett specialutvecklad vakuumtät axel.